真空蒸着法にはさまざまなプロセスがありますが、神戸製鋼が設計?製作しているプロセスは、PVD法のアークイオンプレーティング方式とスパッタ方式、さらにCVD法ではプラズマCVD方式があります。
1986年、神戸製鋼はAIP™ の設計?製造を開始、以来国内?海外ユーザー80社に迫る納入実績を有し、切削工具、自動車?機械部品、金型、電子部品など多様な工業分野で高い評価を得ています。
1998年には日本では他に先駆けて、アンバランスド?マグネトロン?スパッタ装置UBMS™ を開発、まずDLC膜で比類のない高い密着力を得ることに成功しました。これによりこれまで超硬金型に限定されていたその用途も、機械部品にまで広がることになりました。UBMSはDLC以外にも利用を広げるため開発が続けられています。
